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    洁净室静电控制该如何控制

    作者:广州洁净工程公司 浏览量:880 来源:本站 时间:2022-09-15 10:06:19

    信息摘要:

    静电防护工作区的分级A级:允许对地静电电位不超过±100VB级:允许对地静电电位不超过±1000V实际工程中是分静电电位不超过100V、500V、1000V等对应元器件、组件和设备静电敏感电压的3级。

    1、静电控制的基本原则


    (1)确定静电控制级别


    (2)尽量减少静电荷的产生


    (3)泄放和中和的办法加速静电荷消散,防止静电积累


    (4)保护产品不受ESD的损坏


    2、确定静电控制的级别


    (1)元器件、组件和设备静电敏感度分级


    1级:易遭受0-1999V静电电压损坏的


    2级:易遭受2000-3999V静电电压损坏的


    3级:易遭受4000-5999V静电电压损坏的


    而敏感静电压大于16000V的,便不必采取防静电措施。

    41.jpg

    (2)静电防护工作区的分级


    A级:允许对地静电电位不超过±100V


    B级:允许对地静电电位不超过±1000V


    实际工程中是分静电电位不超过100V、500V、1000V等对应元器件、组件和设备静电敏感电压的3级。


    3、尽量减小静电荷的产生


    这是控制静电三步曲的第一步,在这手机看片福利永久工作环境中,最好的措施:


    (1)尽量采用性质相似器材,减少在接触摩擦分离过程中产生静电电荷;


    (2)尽量采用导静电型或静电耗散型材料的器材,减少接触摩擦分离过程产生积累静电荷;


    (3)尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产流程。


    4、泄放和中和


    这是控制静电三步曲的第二步,在微电子生产的手机看片福利永久室中最通常的措施是接地,采用导电性或耗散性材料泄放静电荷,以及离子化消电器中和静电荷。


    (1)接地


    洁净室应设一个独立静电接地系统(包括地面接地金属网支系统、生产线工作站接地支系统),以便室内所有设备金属外壳、移动设备的金属支架、防静电器材等安全、有效地将静电荷泄放至大地。工作人员的带电则通过手腕带接地,以及通过防静电鞋或脚跟带再经防静电地面向大地泄放。地面、墙面、顶棚、隔。


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