1.不准检查、维护保养处于工作状态的半导体无尘车间行车

    2.半导体无尘车间行车在进行检查之前要将其停稳后而且要将电源切断。

    3.半导体无尘车间行车在检修时要将电源切断，要将所要开关归零。

    4.在对半导体无尘车间行车进行检查时要先将防护用品穿戴好，且不能在主梁上跨越或者行走。

    5.半导体无尘车间行车金属结构件的焊接材料和焊条要符合原结构要求；

    6.要确保半导体无尘车间行车所需更换的零部件与原来的零部件性能一致

    7.不能站在主梁上对半导体无尘车间行车进行清扫。

    8.要将半导体无尘车间行车移动到不影响其他半导体无尘车间行车作业的地方进行维修保养。如果没有达到要求，要设置专人来进行监护。

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